2024年 80卷 4期

2024年 61卷 4期

出版日期:2024-10-09

高深宽比硅孔溅射铜种子层工艺的探索与研究*

付学成,刘民,张笛,程秀兰,王英 (上海交通大学先进电子材料与器件平台,上海200240)

2024年 61卷 4期

基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究*

李翔1,姜小蛟1,战春鸣2,刘昂1,孙宁1,李加平1 (1. 沈阳富创精密设备股份有限公司,辽宁沈阳110015;2. 沈阳真空技术研究所有限公司,辽宁沈阳110042)

2024年 61卷 4期

超高陡度长波通拉曼滤光片的研制

白皓宇,姚春龙,董明,秦瑞,白永浩,王奕楠 (沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043)

2024年 61卷 4期

不同试验条件对非晶硒薄膜中载流子迁移率的影响*

李瑞东1,金大利2,张梅东1,于立苹3,王建伟4 (1. 防灾科技学院基础课教学部,河北三河065201;2. 天津市地震局,天津300201;3. 天津市信息工程学校,天津301900;4. 河北省地矿局第七地质大队,河北三河065201)

2024年 61卷 4期

磁控溅射镀膜技术在(Cr,Ti,Al)N 涂层上的应用*

赵凡,项燕雄,邹长伟,于云江,梁枫 (岭南师范学院物理科学与技术学院,广东湛江524048)

2024年 61卷 4期

大型串联电子束熔炼炉抽真空系统设计研究*

宋涛,张柏诚,王春雷,姜正鹤 (核工业理化工程研究院激光技术研究所,天津300181)

2024年 61卷 4期

脉管制冷机的研究进展及其仿真优化*

姜远镇1,邓家良1,2,韩雨松1,武义锋1,2 (1. 安徽万瑞冷电科技有限公司,安徽合肥230088;2. 中国电子科技集团第十六研究所,安徽合肥230088)

2024年 61卷 4期

大抽速、高容积 KDCP-16 低温泵研制*

卢政阳,管承红,杨晨,陈杰,李艳峰,董文庆 (中船鹏力(南京)超低温技术有限公司,江苏南京211100)

2024年 61卷 4期

活塞压缩机整机振动分析与试验研究*

常学森,王一婷,赵月,葛盼,卢翰斌,翁晨昊 (辽宁科技大学机械工程与自动化学院,辽宁鞍山114051)

2024年 61卷 4期

耦合器热窗的极限真空方案模拟分析*

岳泰,何超峰,王希龙,孙兴中,云永琥,陈伟,杜文清,陈耀锋 (深圳综合粒子设施研究院,广东深圳518107)

2024年 61卷 4期

分子泵体积流率检测标准方法的探讨

乔忠路1,王玲玲1,2,李智慧1,刘诗梦1,宋青竹1,2,战春鸣2 (1. 国家真空设备质量检验检测中心,辽宁沈阳110042;2. 沈阳真空技术研究所有限公司,辽宁沈阳110042)

2024年 61卷 4期

一种高精度外热流模拟控制系统设计与研究

王国防,刘家林,孙成恺,刘海静,张静,董德胜 (上海卫星装备研究所,上海200240)

2024年 61卷 4期

浓度均匀性对吸枪积累法检测结果的影响研究

葛丽,高晨家,邱斌,申鹰翔,陈博 (航天材料及工艺研究所,北京100076)

2024年 61卷 4期

浮空器囊体热合区域透氦率性能研究

朱善璋,董莉 (中国电子科技集团公司第三十八研究所,安徽合肥230088)

2024年 61卷 4期

带有防咬死铜镀层的标准螺纹紧固件放气率测试*

卯鑫1,2,冯思庆1,2,3,刘鹏1,彭学兵1,吴欢1 (1. 中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所,安徽合肥230031;2. 中国科学技术大学,安徽合肥230026;3. 合肥科烨电物理设备制造有限公司,安徽合肥230088)

2024年 61卷 4期

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