过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多，硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。（Cr,Ti,Al）N 四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人员的关注。本文从磁控溅射镀膜的基本原理和技术特点出发，介绍了制备（Cr,Ti,Al）N 涂层常见的磁控溅射镀膜技术，分析了采用单质靶与合金靶沉积镀膜的效果及其各自的优缺点，研究了磁控溅射工艺参数对（Cr,Ti,Al）N 涂层机械性能的影响，最后讨论了（Cr,Ti,Al）N 梯度涂层的作用及其制备方法。本文可为设计（Cr,Ti,Al）N 涂层制备工艺、改善（Cr,Ti,Al）N 涂层性能提供理论参考与指导。