晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标：工作面温度均匀性和控温能力，晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证，以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型，精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案，以温度均匀性为优化目标，获取最优设计方案。经不同方案验证，该模型的精度在98% 以上，可显著提升加热盘设计效率，为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外，基于传热学理论，提出了一种加热盘控温能力的设计方法，通过一维计算的方式，为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。