真空杂志

分子泵体积流率检测标准方法的探讨

作者：乔忠路¹，王玲玲^1,2，李智慧¹，刘诗梦¹，宋青竹^1,2，战春鸣² （1. 国家真空设备质量检验检测中心，辽宁沈阳110042；2. 沈阳真空技术研究所有限公司，辽宁沈阳110042）

关键词：分子泵;体积流率;流量法;小孔法

摘要：

全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准，重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法，以FF-160/620C 分子泵为对象，分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率，详细介绍了测量原理、流程、结果及不确定度。结果表明，在流量计满足要求的情况下，流量法更具优势。最后介绍了分子泵在特殊工况下如强磁、耐腐蚀等环境下的测量方法和意义。

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