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超高陡度长波通拉曼滤光片的研制

作者：白皓宇，姚春龙，董明，秦瑞，白永浩，王奕楠（沈阳仪表科学研究院有限公司，辽宁沈阳110043）

关键词：长波通滤光片;陡度;磁控溅射;拉曼检测

摘要：

长波通滤光片是拉曼光谱仪中滤除瑞利散射光的重要光学元件，更高的陡度能进一步提升其检测精度和范围。介绍了超高陡度长波通膜系设计方案与超多膜层高精度膜厚控制技术，基于磁控溅射技术实现了超高陡度长波通滤光片产品的制造。测试表明该产品的陡度优于0.5%，通带波纹优于4%，可实现532 nm 激光附近最低100 cm^-1 的低波数拉曼检测。

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