真空杂志

脉管制冷机的研究进展及其仿真优化*

作者：姜远镇¹，邓家良^1,2，韩雨松¹，武义锋^1,2 （1. 安徽万瑞冷电科技有限公司，安徽合肥230088；2. 中国电子科技集团第十六研究所，安徽合肥230088）

关键词：低温真空泵;脉管制冷机;仿真优化

摘要：

脉管制冷机具有高稳定性、持久运行和低振动等特性，符合高真空设备低温泵对冷源的要求，在低温真空泵领域的关注度越来越高。本文首先介绍了脉管制冷机的基本原理和分类，然后按照驱动方式总结了不同脉管制冷机的最新研制进展，最后重点分析了不同仿真方法在脉管制冷机研发和优化过程中的实际应用。

全文：

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