2021年 61卷 6期

2021年 58卷 6期

出版日期:2021-12-03

多口分子泵中检口位置对氦质谱检漏仪性能的影响研究

李 博 ¹,侯德峰 ²,王晓冬 ¹,巴德纯 ¹(1.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁 沈阳 110819;2.中国汽车工业工程有限公司 天津 300110)

2021年 58卷 6期

TVS-2M 燃料棒在无阳极氧化下高温氦检漏可行性研究

黄 帆,杨通高,郭春海,曹 晖,陈 超 (中核建中核燃料元件有限公司,四川 宜宾 644000)

2021年 58卷 6期

原子层沉积法制备 Al₂O3薄膜研究近况和发展趋势

段珊珊¹,施昌勇 ²,杨丽珍 ¹,刘忠伟 ¹,张海宝 ¹,陈 强 ¹(1.北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京 102600;2.北京服装学院,北京 100029)

2021年 58卷 6期

基于磁控溅射的纳米金属薄膜沉积工艺研究 *

朱蓓蓓 ¹,倪 昌 ²,秦 琳¹,楚建宁 ²,陈 肖 ²,许剑锋 ²(1.上海航天控制技术研究所,上海 201109;2.华中科技大学机械科学与工程学院,湖北 武汉 430074)

2021年 58卷 6期

玻璃碳坩埚蒸镀金膜时物料飞溅的机理分析与控制

付学成,毛海平,瞿敏妮,乌李瑛,王 英 (上海交通大学先进电子材料与器件校级平台,上海 200240)

2021年 58卷 6期

不同基体材料筒体内壁磁控溅射膜层工艺研究

贺 平,张 旭,杨 洋 (核工业理化工程研究院,天津 300180)

2021年 58卷 6期

宽角度入射近紫外反射镜的膜系优化设计与制备

宋光辉,李文龙,王银河,胡雯雯,姚春龙,刘海涛 (沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳 110041)

2021年 58卷 6期

复合金属薄膜层对金丝键合性能的影响

杨 曌 ¹ ² ³,罗俊尧 ¹ ²,李保昌¹ ²,李淑华 ¹ ²,沓世我 ¹ ²,付振晓¹ ²,宁洪龙 ³ (1.广东风华高新科技股份有限公司,广东 肇庆 526020;2.新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室, 广东 肇庆 526020;3.华南理工大学材料科学与工程学院,广东 广州 510641)

2021年 58卷 6期

电弧离子镀中 Ti 大颗粒在空间传输过程中速度和能量变化特征 *

魏永强 (郑州航空工业管理学院航空宇航学院,河南 郑州 450046)

2021年 58卷 6期

大口径超长 U 型气体池研制与分析

刘海静,李灿伦,路同山,孙成恺,李卓慧,祁松松,刘家林 (上海卫星装备研究所,上海 200240)

2021年 58卷 6期

真空感应冶金设备隔离阀应用现状与展望

薛庆增 ¹,陈久强 ²,冯骏骁 ²,滕 龙 ²,李秀章 ²,李宏磊 ²(1.海装沈阳局驻沈阳地区某军事代表室,辽宁 沈阳 110043; 2.沈阳真空技术研究所有限公司,辽宁 沈阳 110042)

2021年 58卷 6期

真空法从钛矿中制备钛的热力学可行性研究

刘予成 ¹,杜远超 ¹,李秋霞 ²(1.文山学院冶金与材料学院,云南 文山 663099;2.云南师范大学化学化工学院,云南 昆明 650092)

2021年 58卷 6期

真空电子束熔炼用坩埚冷却装置框架的抗震分析

成 成 ¹,张 帆 ¹,李 菊 ¹,任琪琛² (1.核工业理化工程研究院,天津,300180;2.安徽万瑞冷电科技有限公司,安徽 合肥 230000)

2021年 58卷 6期

真空冷冻干燥技术在疫苗研发与生产中的应用

赵 凡,韩 峰,陈雨曈,赵 耀,张志军,蔡 旭,张世伟 (东北大学机械工程与自动化学院,辽宁 沈阳 110819)

2021年 58卷 6期

猕猴桃片真空冷冻干燥工艺及其效率研究 *

彭润玲,韦 妍,王 鹏,杨 杰,吴亚梅 (西安工业大学机电工程学院,陕西 西安 710021)

2021年 58卷 6期

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