真空杂志

不同基体材料筒体内壁磁控溅射膜层工艺研究

作者：贺平，张旭，杨洋（核工业理化工程研究院，天津 300180）

关键词：复合材料;磁控溅射;镀膜工艺;结合强度

摘要：

筒体是由复合材料和金属柔性件组合而成，筒体不能直接接触工作介质，因此其内壁需要施加一层保护膜。本文通过对不同筒体材料预处理，同时利用磁控溅射工艺进行工艺研究和试制，最终确定了一体镀膜工艺路线，并开发出相应的磁控溅射工艺参数，利用该工艺参数成功在筒体内壁实现一次性成膜，所得膜层完整并具有一定膜基结合强度和膜层厚度。

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