电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒(MPs)缺陷是当前研究热点之一，本文利用尘埃等离子体理 论，以 Ti 大颗粒为研究对象，对 Ti 大颗粒尺寸与其传输过程中的速度和能量变化进行了计算，解释了大颗粒在薄膜表面形貌变化的主要原因。在电弧等离子体传输过程中，在不同的工作距离下离子和电子的密度发生改变，大颗粒受到等离子体中离子和电子的碰撞，传输速度和能量发生变化，使得大颗粒在到达基体表面时保持半固态和液态。与基体表面发生碰撞后，大颗粒的形貌呈现扁平的椭圆形和长条形。