真空杂志

宽角度入射近紫外反射镜的膜系优化设计与制备

作者：宋光辉，李文龙，王银河，胡雯雯，姚春龙，刘海涛（沈阳仪表科学研究院有限公司，辽宁沈阳 110041）

关键词：近紫外;宽入射角度;膜系设计;均匀性

摘要：

本文以规整膜系为基础，使用膜系软件进行优化，设计出满足投影光刻机紫外光学系统用宽角度入射近紫外反射镜使用要求的多层介质膜系。基于平面行星式转动机构，计算出平面紫外反射镜直径400mm 以内的膜厚分布，通过对膜厚均匀性修正技术研究，实现镜片表面膜厚光谱曲线偏差小于 5nm。

全文：

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