2024年 79卷 3期

2024年 61卷 3期

出版日期:2024-06-27

干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势

张丕显1,张以忱2,战春鸣1,晋伟达1 (1. 沈阳真空技术研究所有限公司,辽宁沈阳110042;2. 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳110004)

2024年 61卷 3期

基于MATLAB/GUI 的真空泵抽速曲线预测计算

赵前玉1,于振华1,李恒霖1,干蜀毅1,张东庆2 (1. 合肥工业大学机械工程学院,安徽合肥230009;2. 伯仲(山东)工业设备有限公司,山东淄博255000)

2024年 61卷 3期

表面特性对棘齿型Knudsen 泵气体分离特性影响的模拟研究*

韩峰,张志军,张世伟,王晓伟 (东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳110819)

2024年 61卷 3期

基于流导法的G-M 制冷机低温泵抽速测试与分析*

余彦飞,李晓刚,胡湘娥,陈进文,陈洁心 (中山凯旋真空科技股份有限公司,广东中山528478)

2024年 61卷 3期

基于ANSYS 的储氢气瓶快充温升流热固耦合模拟研究*

杨刚1,欧晨希2,陈新辉2,黄思2 (1. 广东省特种设备检测研究院,广东佛山528000;2. 华南理工大学机械与汽车工程学院,广东广州510641)

2024年 61卷 3期

热氧老化效应对橡胶密封接触性能的影响*

郭崇武,史纪军,孙立臣,齐飞飞,李文斌 (北京卫星环境工程研究所,北京100094)

2024年 61卷 3期

基于Fluent 的多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能研究

宋昕,郭建章 (青岛科技大学机电工程学院,山东青岛266061)

2024年 61卷 3期

真空泵滑阀加工专用刨床设计*

张辉1,2,徐君1,金建华1,王鹏超1,徐慧1,张文宇3 (1. 台州职业技术学院汽车学院,浙江台州318000;2. 汽车关键零部件精益智造研究所,浙江台州318000;3. 浙江鑫宇真空设备制造有限公司,浙江台州318000;)

2024年 61卷 3期

差压法测定NEG 吸氢性能*

王婧华,王蓝陵,林文豫,吴俊,曹青,王旭迪 (合肥工业大学机械工程学院,安徽合肥230009)

2024年 61卷 3期

沉积参数对TiO2纳米薄膜的显微结构和光学性能的影响*

纪建超1,2,颜悦1,2,哈恩华1,2 (1. 北京航空材料研究院股份有限公司,北京100095;2. 北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京100095)

2024年 61卷 3期

CVD 关键工艺参数对(Ni, Pt)Al 涂层高温防护性能影响*

刘玉琢,王鑫,李娜,甄真,许振华 (中国航发北京航空材料研究院航空材料先进腐蚀与防护航空科技重点实验室,北京100095)

2024年 61卷 3期

无色聚酰亚胺薄膜二次表面镜的光学特性研究

李灿伦,倪俊,郭腾,韩玮,王飞,祁松松,李辉,范孝鹏,范秋林 (上海卫星装备研究所,上海200240)

2024年 61卷 3期

GB/T 26332《光学和光子学光学薄膜》新增内容解析

熊天农,高鹏,王瑞生,任少鹏,赵帅锋,阴晓俊 (沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043)

2024年 61卷 3期

外部机械化室式热处理炉设计分析

王宝来,苏宁,陈鼎,车恩林,刘君,王震 (沈阳真空技术研究所有限公司,辽宁沈阳110042)

2024年 61卷 3期

真空电子束熔炼炉用坩埚冷却装置的抗震试验研究

成成,贾子朝,李菊,闫超 (核工业理化工程研究院,天津300180)

2024年 61卷 3期

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