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  2. 2024年 61卷 3期
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干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势

作者：张丕显1，张以忱2，战春鸣1，晋伟达1 （1. 沈阳真空技术研究所有限公司，辽宁沈阳110042；2. 东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳110004）

关键词：干式真空泵;半导体制备;LCD;光伏发电;锂电池制造

摘要：

干式真空泵作为一种机械真空泵，具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质，可以提供相对洁净的真空环境，目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备。本文简述了干式真空泵在半导体制备及新能源装备制造行业中的应用场景，举例说明了部分干式真空泵的产品特性，总结了国内干式真空泵行业发展空间及面临的挑战。

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