作者:余彦飞,李晓刚,胡湘娥,陈进文,陈洁心 (中山凯旋真空科技股份有限公司,广东中山528478)
关键词:G-M 制冷机低温泵;流导法;抽速测试;性能分析
抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对 ZD-200 口径 G-M 制冷机低温泵对不同气体抽速测试进行了详细介绍。结果表明:流导法测得低温泵对N2 和Ar的抽速分别为2410 L/s、1884 L/s,明显优于国内外同类产品指标;低温泵对H2 抽速为2577 L/s,与国内外产品公开技术指标处于相同水平。依照流导法获得的测试结果具有较高的准确度和可信度。