质谱仪是气体监测与分析的一种重要仪器。相比于传统气体传感器检测方式，质谱仪具有检测范围广、灵敏度高、响应速度快等优点。本文研制了一台小型化过程检测质谱仪，采用双灯丝电子轰击电离源及四极杆作为质量分析器，检测器部分采用法拉第筒与电子倍增器双模式，电控单元以高频 FPGA 测控系统、大电流灯丝驱动电源、宽质量范围射频电源及高增益复合跨导放大器为核心。试验测试结果表明，该小型质谱仪各项性能指标优越，已达到市场上主流商品的水平，可广泛用于各类气体检测场合。