1. 学术期刊
  2. 2024年 61卷 2期
  3. 一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究*
  1. 联系我们 行业资讯

一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究*

作者：窦仁超1，崔寓淏1，喻新发1，冯琪1，刘坤2，闫荣鑫1，孙立臣1，孟冬辉1 （1. 北京卫星环境工程研究所，北京100094；2. 东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳 110819）

关键词：微机电系统;离子源;深空探测;空间质谱仪

摘要：

设计了一种空间微型质谱仪用三电极场芯片级离子源结构，该离子源由5层电极板构成气体电离区和离子引出区。采用 MEMS 技术制备了芯片级离子源原理样机，测试了其电子流、离子流和稳定性。结果表明：该芯片级离子源能够产生0.357mA 以上的电子流，接收到的离子流可以达到527pA，满足空间探测任务中微小型质谱仪离子源的功能要求。

全文：

PDF地址

---------------------沈阳真空杂志---------------------


长按识别二维码关注我们


地址：沈阳市沈河区万柳塘路2号 邮编：110042
电话：（024）24134406 24110136 24121929
传真：（024） 24121929 E-mail:zkzk1964@126.com
Copyright @ 2018 vacuumjour.com Inc. All rights reserved.
<<真空>>杂志社 版权所有