使用等离子增强磁控溅射技术，利用三甲基硅烷 TMS(Si-C) 以及六甲基二硅氧烷 HMDSO(Si-CO) 气体在 H13 钢表面制备了 TiCrSiCN 和 TiCrSiCON 纳米复合涂层。结合SEM、AFM、XRD、EDS 等研究了O元素对涂层显微组织、物相组成、表面能、硬度、摩擦因数、耐磨和耐高温氧化性能的影响。结果表明：与无氧的 TiCrSiCN 涂层相比，含氧的 TiCrSiCON 涂层表面较粗糙，致密度低，且存在典型的柱状组织，从而导致其较高的表面能；O元素的加入提高了涂层的硬度，使 TiCrSiCON 涂层的耐磨性能显著提高，但 TiCrSiCN 和 TiCrSiCON 的摩擦因数相差不大；TiCrSiCON 涂层中的Cr元素易与O元素结合形成一层致密的氧化膜，从而提高了其耐高温氧化性能。