研制了一种基于无转移聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）或聚酰亚胺（PI）的漏孔元件。通过在铜箔上旋涂PMMA 或PI，另一面旋涂光刻胶，并利用紫外光刻打孔，在铜箔上刻蚀出了不同阵列的直径约10μm 的小孔。基于差压法测量了氦气通过该标准漏孔元件的流导。结果表明：在从5kPa 到10⁵Pa 压力范围内，各测试样品均表现出分子流动状态；无转移PMMA 或PI 的流导和有效渗透面积呈线性关系，可通过控制小孔数量来控制PMMA 或PI 的有效渗透面积，从而获得不同的流导；所开发的无转移PMMA或PI 为优良的低渗透漏孔理想材料。