结合特种合金实际生产过程，从设备配置、抽空能力等方面对德国ALD 公司VIDP 炉真空系统进行分析，并给出了若干优化应用措施。提出将罗茨泵的启停间隙控制在120~180s；低真空系统两套并联泵组的模式开关开启阈值分别设定为1000Pa 和2500Pa；根据特种合金易挥发的特性，给出罗茨泵各部位维修保养周期（3~12个月不等），以及合金熔炼过程中充氩破空的具体操作流程；最后针对VIDP-300 型炉的真空系统提出提升抽空能力的改造建议。