利用电弧离子镀膜技术，以硅片、不锈钢、玻璃片为基底，在脉冲偏压分别为50V、100V、150V的条件下制备了三组氮化铬薄膜样品，对其物相、表面形貌、力学性能及不同温度下的疏水性能进行了分析研究。结果表明：所制备薄膜样品组分单一，表面存在些许“大颗粒”，当脉冲偏压为100V 时“大颗粒”数量最多；氮化铬薄膜力学性能优良，150V 脉冲偏压下沉积的薄膜具有较高的硬度和杨氏模量，50V 脉冲偏压样品具有较高的膜基结合力；常温（20℃）下薄膜疏水性均较好，基底材料对疏水性能影响不大；各组薄膜疏水性能随环境温度的增加而降低，当环境温度上升至80℃ 时脉冲偏压为50V 的薄膜丧失疏水性能, 脉冲偏压为100V 的薄膜样品疏水性能整体较优。