标准漏孔是氦质谱检漏仪的校准装置，为了提高氦质谱仪检漏灵敏度，必须降低标准漏孔漏率下限。针对目前传统材料加工制作的标准漏孔难以通过改进加工工艺降低漏率下限的情况，利用CVD法制作了一种亚纳米孔石墨烯复合薄膜新型标准漏孔，研究了其渗氦性能和制备工艺稳定性。结果表明：单层石墨烯/PMMA 复合薄膜单位面积漏率为4.17×10^-12~1.09×10^-11Pa•m³/（cm²•s•Pa），通过调节新型材料渗透面积，可制作漏率下限达10^-12Pa•m³/s 量级的标准漏孔。