大空间建筑既是城市景观的重要组成元素，又是展现城市特色、彰显时代风貌、传承城市历史的重要载体。氟化非晶碳薄膜有望作为外立面修饰材料，提升大空间建筑的自清洁、防雾和抗冰能力。本文介绍了氟化非晶碳薄膜的射频/ 直流共溅射方法，系统分析了薄膜微观形貌、粗糙度和化学组分随溅射功率比的变化规律，详细研究了化学组分和微观形貌对薄膜浸润性能的影响。结果表明：氟化非晶碳薄膜以岛状模式生长，当石墨/ 聚四氟乙烯溅射功率比从0升高至1.25时，含氟组分种类和含量的减少是薄膜亲水性增强的主要原因。