作者:李国浩,万亿,张昕洁,杜广煜 (东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳110819)
关键词:类金刚石薄膜;腐蚀疲劳;掺杂;多层结构;杂化键
类金刚石(DLC)薄膜是一种具有高耐磨性和高化学稳定性的薄膜材料,应用也越来越广泛。随着关键材料部件的服役环境越来越苛刻,关键部件的防护和可靠性面临新的挑战,近年来DLC 的抗腐蚀性能越来越被重视。本文聚焦DLC 的腐蚀和耐磨机理,归纳了DLC 薄膜对合金表面腐蚀防护的研究热点,介绍了应用在材料表面的DLC 不同制备方法,简述了单层DLC、多层DLC 和掺杂型DLC 的结构和防护机理。多层DLC 具有很大的研究价值和广泛的应用前景。最后,对当前DLC 薄膜对基材表面防护的发展趋势和挑战进行了展望。