采用射频等离子体放电轰击对精密仪器、器件制造领域石英及陶瓷类器件的内部孔道表面进行处理，利用高能量等离子体轰击被清洗表面，可以使污染物通过物理作用和发生化学反应而排出，以达到清洗效果。本文对等离子体放电清洗射频屏蔽、启辉调整、工艺参数确定等过程进行了探索，并对电极间距、安装形式对启辉的影响，以及等离子体放电过程中相关工艺参数变化对器件温升的影响进行了研究。结果表明：射频输出功率越高、进气流量越大，石英器件的温升速率越快。以上研究结果为石英及陶瓷类器件的内部孔道表面处理提供了有效指导。