使用等离子增强磁控溅射（PEMS）技术在H13 热作模具钢表面制备了TiCrSiCN 和TiCrSiCON两种纳米复合涂层。通过Rc 压痕法、纳米压痕法、微型喷砂装置和恒电位仪分别测定了涂层与基体的结合力及其韧性、耐冲蚀和耐腐蚀性能，讨论了氧元素的加入对涂层性能的影响。结果表明：TiCrSiCN 和TiCrSiCON 纳米复合涂层均与基体结合良好；TiCr 基纳米复合涂层耐冲蚀磨损性能是H13 钢的4~5 倍，TiCrSiCON 具有比TiCrSiCN 更好的耐冲蚀性能；TiCrSiCN、TiCrSiCON、H13 钢的极化电阻依次降低；氧元素有利于提高TiCr 基涂层与基体的结合力，但会降低涂层的韧性和耐腐蚀性能。