真空杂志

小型带电粒子发射枪的研发*

作者：郭方准，石晓倩，王润成（大连交通大学机械工程学院，辽宁大连116028）

关键词：电子;离子;等离子体;电磁透镜;静电透镜

摘要：

本文介绍了电子和氩离子两种不同电荷的小型发射枪，根据电子枪的用途，以电荷中和低能量电子枪、脉冲式电子枪和高能量电子枪为例，详细介绍了发射枪的构造、工作原理和粒子轨迹。根据氩离子的产生方式，介绍了冷阴极离子枪、热阴极离子枪和等离子体源。掌握小型带电粒子发射枪的原理和构造，可以针对基础科研、半导体产业、生命科学和国防航天领域的具体应用进行产品开发。

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