利用等离子体增强原子层沉积技术（PE-ALD）在涂覆聚丙烯酸酯多元醇树脂有机涂膜的PET 基底上沉积一层无机薄膜得到功能性PET 复合膜。通过水蒸气透过率测试仪和紫外可见近红外分光光度计研究了有机涂膜厚度、PE-ALD 镀膜种类和PE-ALD 镀膜温度对PET 复合膜水蒸气阻隔性和透光性能的影响。结果表明：聚丙烯酸酯多元醇有机涂膜厚度对PET 复合膜的水汽阻隔性和透光率基本无影响；PE-ALD 沉积的Al₂O₃薄膜可大幅提高PET 复合膜的水蒸气阻隔性，且PE-ALD 镀膜温度为100℃时，水蒸气阻隔性能最优，可达0.17g•m^-2•d^-1。