真空杂志

作者：

张吉峰，韩永超（北京真空电子科技有限公司，北京 100015）

关键词：真空度校准;真空度测量仪;真空开关管

摘要：

本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果，重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理，系统组成和机构，标定校准的工艺过程，并对校准带来的误差和干扰因素进行了汇总分析，通过分析，为进一步提高校准的精度提供了改进思路。

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