在低温80℃的沉积条件下，采用等离子体增强原子层沉积（PEALD）技术在柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基底上制备氧化铝（Al₂O₃）阻隔薄膜。通过X射线光电子能谱、椭圆偏振仪测试分析表明，制备的Al₂O₃薄膜纯度较高，均匀性好。同时，通过调节沉积循环周期制备了不同厚度的Al₂O₃薄膜，研究了薄膜厚度对其表面形貌、表面粗糙度、透光率以及水汽透过率的影响。结果表明，沉积循环周期为500cycles 时制备的Al₂O₃薄膜性能最为优异，表面粗糙度为1.52nm，400~1200nm 波长范围内平均透光率为90.4%，水汽透过率为3.15×10^-3g·m^-2·d^-1。