空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域，极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键，因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行，真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术，包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测 量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于 1×10^-9 Pa，多路带载真空度 优于 5×10^-9 Pa，对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。