采用多弧离子镀膜法制备了 ZrN 单层膜和不同调制比的 Zr/ZrN 多层膜，研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明：多层膜中 ZrN 有较高的结晶度，膜层表面形貌平整，组织结构致密，分布有球状 Zr 颗粒；Zr/ZrN 多层膜的硬度高于单层 ZrN 薄膜，并随着调制比的增加先增大后减小，调制比为 1：1 时，Zr/ZrN 多层膜的硬度达到 1541.58Hv，结合力为 51.61N。