非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究，如不粘性和耐腐蚀性，这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr₅₅Cu₃₀Al₁₀Ni₅成分来说尤为突出。本文以 Zr₅₅Cu₃₀Al₁₀Ni₅ 块状金属玻璃为靶材，通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜，研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响。结果表 明，在磁控溅射功率为 75~165W 的范围内，可以获得高质量的非晶态薄膜，其硬度达到 ~9.2GPa，弹性模 量 ~164GPa，硬弹性比 ~0.055，自腐蚀电流密度 ~1.16μA·cm^-2，自腐蚀电位 -241.27mV，最大润湿角 104°。 这些性能数据与文献报道的接近，硬度甚至更高，证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力。