作者:刘燕文1,孟鸣凤1,张晓林1,朱虹1,王国建1,2,赵恒邦1,王小霞1,张志强1 (1.中国科学院空天信息创新研究院,北京 100190;2.中国科学院大学,北京 100049)
关键词:微波真空电子器件;热阴极;热子组件;真空烧结
微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器等方面,热子组件是微波真空电子器件中最为核心的部件之一,其性能将直接影响微波源的可靠性和寿命。为了克服传统热子组件制备工艺的缺点,避免热子组件可靠性差和寿命短的缺陷,提出了一种热阴极用熔融热子组件的制备方法,采用高温真空烧结技术将热子与绝缘材料烧结熔化在一起,提高了热子组件的致密性,降低了残余气体的吸附量,增强了热子组件的抗冲击性能,克服了热丝变脆的缺点。