真空杂志

真空卷绕蒸发镀膜机上实现镀透明氧化铝膜的一种方法

作者：徐新昀，朱文丽，谢晋如，刘强，李雪峰（兰州真空设备有限责任公司，甘肃兰州 730050）

关键词：真空卷绕;镀铝设备;离子束;辅助沉积;氧化铝膜

摘要：

本文介绍了一种以普通真空卷绕镀铝机为基础，离子注入与气相沉积薄膜相结合的离子束辅助沉积表面改性技术。通过在普通卷绕镀膜设备上增设一套辅助轰击离子源，构成离子辅助沉积系统，可以实现透明氧化铝膜的镀制。详细说明了该镀膜方法的设备结构、特点与工作原理，并指出了该镀膜方法的推广与应用前景。所用设备还可以实现镀铝膜，突破了普通镀铝机镀膜种类的单一性。该技术响应国家号召，实现了氧化铝蒸发镀膜设备的国产化。

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