真空杂志

双螺杆真空泵内压缩转子结构研究现状*

作者：刘明昆，李丹童，邢子文（西安交通大学能源与动力工程学院，陕西西安 710049）

关键词：螺杆真空泵;内压缩;变螺距;变截面

摘要：

螺杆真空泵被广泛应用于半导体、镀膜、化工等行业，是一种理想的干式真空泵。其中内压缩式螺杆真空泵在气体输送阶段就开始对工作气体进行压缩，具有一系列突出优点。本文将内压缩式螺杆转子按结构分为变螺距与变截面两种，分别介绍了其数学模型设计、性能分析方法、动平衡计算等方面的研究进展，为内压缩式螺杆转子的理论研究提供了参考。

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