真空杂志

弹载速调管微小漏孔的检测方法

作者：宋艳鹏，强博，韩永超，唐榕，张吉峰（北京真空电子科技有限公司，北京 100015）

关键词：速调管;微小漏孔;存储;加压检测

摘要：

本文详细介绍了弹载速调管微小漏孔检测的方法和原理。首先明确了加压检测方法流程，对一些关键参数（如氦气存储压力、存储时间，器件内真空度表征方法等）进行了理论计算与分析，得出了具有指导意义的结果；然后对加压检测设备的主要组成部分进行了详细介绍；最后利用研制好的设备进行了弹载速调管的高压存储实验，结果表明该方法可以高效剔除不合格器件，达到了预期要求，客户反馈良好。

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