通过在质谱仪进气管路上安装的标定腔室与真空管路，实现了对与微球内气体含量相同范围的微量气体的获取。对质谱仪定量分析微量气体时的精密度及被测量氘气的压力对D₂校准因子的影响进行了研究。结果表明：该四极质谱仪的精密度较高，不同压力下10次重复测量实验数据的相对标准偏差均小于0.004；校准后的一个月内质谱仪具有较高稳定性，其定量分析误差低于1%，准确度较高；D₂和Ar 的浓度校准因子在一年内的变化不超过3%，而D₂的压力校准因子在一年内的变化超过8%；D₂的压力校准因子η与被测量氘气的压力P₁成反比，且η与logP₁存在较好的线性关系，这种线性关系在半年内具有较高的稳定性。