复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时，也影响着检漏仪的检测性能。本文基于分子泵抽气基本理论，建立复合分子泵涡轮级的计算模型，通过改变叶片倾角、叶片数目、叶片高度和叶片厚度，分别计算了复合分子泵涡轮级对空气和氦气的抽气性能，研究了复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明：减小叶片倾角、增加叶片数目和叶片高度、增大叶片厚度有利于氦质谱检漏仪检测灵敏度的提高；综合考虑分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测灵敏度，选取叶片倾角25°，涡轮叶片数目25个到30个，叶片高度3mm，叶片厚度0.6mm 到0.8mm 最优。