为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题，将超灵敏度检漏技术集成在 高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构，空载时极限真空度达到超高真空范围，烘箱可进行高温加热，该系统采用程序控制，具有自动采集、存储、分析和传输功能，实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供 5×10^-7 ~5×10^-16 Pa·m³ /s 范围的标准气体流量，集成的超灵敏度检漏下限可达 5×10^-16 Pa·m³ /s，整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于 15%。