真空杂志

基于 ANSYS 的 MEMS 离子源测试用高真空腔设计与分析 *

作者：周缘，冉澳，吴奕恒，谢元华，刘坤（东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳 110819）

关键词：ANSYS;高真空腔体;出气;MEMS 离子源

摘要：

设计了一种适用于 MEMS 离子源测试用的高真空腔体。根据目前质谱测试用高真空腔的相关研究，针对高真空获得能力、保持能力及频繁使用的简便性，综合考虑结构强度、内壁出气等因素，选用了同时满足强度与低出气率的筒型结构。基于 ANSYS 软件，综合分析了高真空下该腔体的结构稳定性及危险点分布，确定了优化的腔体壁厚选择范围。该研究可为高真空腔体的设计提供理论依据。

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