如今越来越多航天器真空试验过程中需要检测试验件内部气体压力，虽然直接安装传感器进行测量最有效且最准确，但是某些试验件内部无法安装传感器，使得直接测量的方法难以实现。本文利用蒙特 卡洛方法，对分子流状态下试验件内部压力变化进行数值模拟。建立了试验件几何模型，考虑了试验件材料放气，计算了分子流状态下试验件内部真空度随时间的变化规律，最终得到真空试验过程中试验件内部压力变化过程。本文为航天器真空试验过程中某一特定位置压力值的预估提供了理论依据。