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  2. 2022年 59卷 2期
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集成电路制造用制冷机低温泵发展现状

作者：冯欣宇 ¹ ²，杨 杨 ¹（1.安徽万瑞冷电科技有限公司，安徽 合肥 230088；2.中国电子科技集团公司第十六研究所，安徽 合肥 230088）

关键词：集成电路;低温泵;发展现状

摘要：

以 GM 制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广 泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来，中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展，作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

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