在对一种小型触发型真空弧离子源的研究过程中发现，稳定的触发过程对真空弧离子源的主 弧形成以及后续离子引出过程是至关重要的。传统触发结构为简单的触发极、绝缘体和阴极堆叠而成的“三明治”结构，触发过程为绝缘体表面的沿面放电过程，该结构若要实现稳定的触发需要很苛刻的外加条件。优化触发结构可有效提高离子源工作稳定性，降低电源要求及成本。针对以上情况，文章提出了一 种新的触发放电结构，并论证了其触发放电的稳定性。