新型碳纳米管微焦点电子源研究 *

作者:祝 维,陆群旭,钱维金,黄卫军,董长昆 (温州大学 温州市微纳光电器件重点实验室,浙江 温州 325035)

关键词:场发射电子源;化学气相沉积;多壁碳纳米管;石墨烯;激光烧蚀

摘要:

介绍了一种基于碳纳米管场发射的新型微焦点电子源技术。利用激光烧蚀镍金属表面使内部 未氧化的镍金属熔化喷出暴露于基底表面,再通过化学气相沉积制备出直径约为 350μm 的半球壳型碳纳米管薄膜阴极。场发射测试表明,电子源具有低开启电场(<1V/μm)、高发射电流(可达 1A/cm²)和高压 强发射稳定等特点。通过复合石墨烯和 750℃真空高温退火,高压强发射稳定性得到进一步提高。该工作提供了一种制备强流微尺度场发射阴极的有效途径。

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