金刚石涂层刀具具有优异的硬度、耐磨性及导热性，在军事、航空航天等高精尖应用领域加工 石墨、高硅铝合金、碳纤维增强塑料等难切削材料时无可替代，但目前金刚石涂层刀具存在两个问题：一是涂层与刀具间膜基结合力较差，导致涂层在使用中过早脱落；二是涂层表面粗糙度较大，难以保证被加 工面的平整度与尺寸精度。本文从增强涂层结合力与降低涂层粗糙度两方面，将近年来科研人员对HFCVD 法制备金刚石涂层的研究成果加以综述，并分析了各种因素对金刚石涂层刀具性能的影响。