真空杂志

真空涂层设备 SIS 设计及应用

作者：游锦山（合肥亿福自动化科技有限公司，安徽合肥 230000）

关键词：真空涂层设备;安全回路;SIS SIL

摘要：

研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性，提出以 IEC 62061 标准完成设备的 SIL 评估、SIS 设计和 SIL 验证，完成了整套 SIS 的集成和应用研发，并实现了 SIS 与总控系统的信息交互和联锁保护，研发的 SIS 已经使用到多套真空涂层设备之中，有效地保护了人身和财产安全。

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