基于硅基氮化硅波导的外腔激光器研究 *

作者:陈家荣 ¹,王东辰 ²,彭麦菊 ¹ (1.贵州民族大学材料科学与工程学院,贵州 贵阳 550025; 2.南京电子器件研究院,江苏 南京 210016)

关键词:外腔激光器;Si3N4 波导;半导体光放大器;边模抑制

摘要:

本论文展示了一种可调谐硅基外腔激光器,调谐范围在 C 波段(1540~1560nm),该激光器使用端面直接耦合(edge coupling)方式将 SOA(Semiconductor Optical Amplifier)与硅基 Si3N4 波导集成。通过设计硅基 Si3N4 波导微环结构行成激光器外腔,激光器边模抑制比(side-mode suppression,SMSR)可达 64dB。使用热调方式对微环进行等效折射率调节,实现了激光器粗调(coarse tune)与精调(fine tune)相结合,调节精度可达 0.04nm。

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