真空杂志

聚变堆第一壁材料溅射装置真空系统设计研究 *

作者：王俊儒¹ ²，余耀伟 ¹，曹斌 ¹，庄会东 ¹，胡建生¹ （1.中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所，安徽合肥 230031； 2.中国科学技术大学，安徽合肥 230026）

关键词：材料溅射实验装置;材料辐照;真空系统;抽速

摘要：

直线等离子体装置（Linear Plasma Device，LPD）是研究托卡马克上边界等离子体与材料相互作用的重要平台。本文针对新建 LPD 的真空系统设计研制开展了相关研究。该真空系统设计为两级隔断式结构，等离子体放电和材料预处理可以在各自真空腔室同步进行、互不干扰。通过真空测试实验，真空控制系统运行稳定，短时间烘烤后系统极限真空达 1.4E-5Pa，满足 LPD 对洁净真空环境的要求。

全文：

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