随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展，人们对聚合物薄膜，尤其是纳米级 聚合物薄膜的要求也越来越高。在传统的沉积方法不能满足要求的条件下，找到新的沉积聚合物的方法势在必行。分子层沉积（MLD）是一种类似于原子层沉积的技术，它可以精确控制聚合物膜的厚度、组成、形貌和保形性。因此，MLD 可以成为制备聚合物薄膜的一种新方法。本文综述了分子层沉积的原理和方法，以及在薄膜领域的发展和应用，最后给出了分子层沉积技术未来发展所面对的挑战和展望。