介绍了一种具有广泛应用前景的新型等离子体源—螺旋波等离子体源，其特点是结构简单，可 以产生高密度的等离子体。论文首先简述了螺旋波等离子体产生基本原理，并对螺旋波等离子体源的结 构、加热机制以及天线形式与其能量耦合方式进行了介绍。然后，概述了螺旋波等离子体源的特性和诊断 方式，主要介绍迟滞能量分析仪（RFEA）对螺旋波等离子体中的离子能量分布（IED）诊断，并对影响 IED 的因素进行分析。随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积以及电推进三个领域的应用进展。最后 指出螺旋波等离子体源的未来发展以及存在的一些问题。