真空杂志

溶胶 - 凝胶法制备 AZO 薄膜的研究进展

作者：纪建超，颜悦，哈恩华（北京航空材料研究院，北京 100095）

关键词：AZO 薄膜;溶胶 - 凝胶;光电特性

摘要：

综述了采用溶胶 - 凝胶法制备 AZO 薄膜的进展，阐述了影响 AZO 薄膜光电特性的主要工艺参数，分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对 AZO 薄膜结构、光电性能的影响，指出了溶胶 - 凝胶法制备 AZO 薄膜的优势与不足，展望了未来的研究方向。

全文：

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